仕事

• ベーキングが終わったので、プレスパッタしようとしたらプラズマが立たなかった。
• 正常時と値は違うがマッチングは取れていた。どこかで放電しているとの結論になり、再びリークした。
• 該当個所にたどり着くまでにカバーを外していたら熱くなっていた。正常では熱くならないので、やはり放電していたらしい。ネジの取り付けミスハケーン。
• 今日実験しようとした学生も取り付けた学生も実験できず。